過熱蒸汽有其本身的應用領域，如用在發電機組的透平，通過噴嘴至電機，推動電機轉動。但*熱蒸汽很少用于工業制程的熱量傳遞過程，這是因為過熱蒸汽在冷凝釋放蒸發焓之前必須先冷卻到飽和溫度，很顯然，與飽和蒸汽的蒸發焓相比，過熱蒸汽冷卻到飽和溫度釋放的熱量是很小的，從而會降低工藝制程設備的性能。

過熱蒸汽定義：當濕蒸汽中的水全部汽化即成為飽和蒸汽，此時蒸汽溫度仍為沸點溫度。如果對于飽和蒸汽繼續加熱，使蒸汽溫度升高并超過沸點溫度，此時得到的蒸汽稱為過熱蒸汽。